Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF, EtherCAT
Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF, EtherCAT
The vacuum transducer VSL has been developed especially for loadlocks. The metal sealed gauge uses a multi sensor technology and combines two piezos with a Pirani sensor. Therefore, the vacuum transducer measures absolute pressure in the range of 1200 …1e-4 mbar as well as relative pressure in relation to the environment in the range of -1060 … +340 mbar.
The VSL is available in KF and CF variations and with different interfaces.
Kód produktu: VSL53EDoprava a platba
24 575 Kč bez DPH 29 735,75 Kč s DPH
The vacuum transducer VSL has been developed especially for loadlocks. The metal sealed gauge uses a multi sensor technology and combines two piezos with a Pirani sensor. Therefore, the vacuum transducer measures absolute pressure in the range of 1200 …1e-4 mbar as well as relative pressure in relation to the environment in the range of -1060 … +340 mbar.
The VSL is available in KF and CF variations and with different interfaces.
Kód produktu: VSL53EDoprava a platba
Principy měření | Kombinované senzory, Piezo, Pirani |
---|---|
Závislost na plynu | závislý na typu plynu, nezávislý na typu plynu (Piezo) |
Rozsah měření mbar | -1060 … +340 mbar (rel.), 0-10V Output |
Rozsah měření Torr | 900 – 1e-4 Torr, Relative pressure: -795 … +255 Torr |
Max., Přetlaková odolnost | 4 bar abs. |
Přesnost | 1200 – 40 mbar: 0.3 % f.s. | 40 – 2e-3 mbar: 10 % f.r. |
Doba odezvy | 40 ms |
Opakovatelnost | 1200 – 40 mbar: 0.1% f.s. | 40 – 1e-2 mbar: 2 % f.r. |
Materiály, které jsou v kontaktu s vakuem | Stainless steel 1.4307, tungsten, nickel, glass, gold, silicon oxide |
Provozní teplota | +5…+60 °C |
Skladovací teplota | -40…+65 °C |
Napájecí napětí | 20 – 30 VDC |
Sériové rozhraní | RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity |
Číslo výrobku (volba vakuového připojení) | DN 16 CF-F (VSL54), DN 16 ISO-KF (VSL53) |
Rozměry | 99 x 69 x 48 mm (VSL53) |
Třída ochrany | IP54 |
Hmotnost (kg) | 0,125 |
Kategorie | Vakuový převodník |
Sériová rozhraní | EtherCAT, RS485 |
Naposledy navštívené1
Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF, EtherCAT
29 735,75 Kč s DPH