Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF :: Activair

Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF

The vacuum transducer VSL has been developed especially for loadlocks. The metal sealed gauge uses a multi sensor technology and combines two piezos with a Pirani sensor. Therefore, the vacuum transducer measures absolute pressure in the range of 1200 …1e-4 mbar as well as relative pressure in relation to the environment in the range of -1060 … +340 mbar.
The VSL is available in KF and CF variations and with different interfaces.

Kód produktu: VSL53DDoprava a platba

16 300 Kč bez DPH 19 723 Kč s DPH

Kód produktu: VSL53DDoprava a platba

Parametry

Principy měření	Kombinované senzory, Piezo, Pirani
Závislost na plynu	závislý na typu plynu, nezávislý na typu plynu (Piezo)
Rozsah měření mbar	-1060 … +340 mbar (rel.), 0-10V Output
Rozsah měření Torr	900 – 1e-4 Torr, Relative pressure: -795 … +255 Torr
Max., Přetlaková odolnost	4 bar abs.
Přesnost	1200 – 40 mbar: 0.3 % f.s. \| 40 – 2e-3 mbar: 10 % f.r., Relative pressure: 0,25 % f. span
Materiály, které jsou v kontaktu s vakuem	Stainless steel 1.4307, tungsten, nickel, glass, gold, silicon oxide
Provozní teplota	+5…+60 °C
Skladovací teplota	-40…+65 °C
Napájecí napětí	20 – 30 VDC
Sériové rozhraní	RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity
Elektrické připojení	SubD 15pole, male
Číslo výrobku (volba vakuového připojení)	DN 16 CF-F (VSL54), DN 16 ISO-KF (VSL53)
Rozměry	25 × 16 × 9 cm
Třída ochrany	IP40, IP54 mit connector XB15SL05
Hmotnost (kg)	195 g (VSL53)
Kategorie	Vakuový převodník
Výstupní signál	0-10 V
Sériová rozhraní	RS485